Apakah fotolitografi?
Fotolitografi adalah salah satu proses penting dalam penghasilan litar bersepadu (IC atau cip). Sebut sahaja, ia adalah proses menyalin corak litar pada substrat dengan menggunakan photomask dan photoresist.
Substrat akan dicat pada lapisan penebat silikon dioksida dan photoresist. Photoresist boleh dibubarkan dengan mudah dengan pembangun selepas terdedah kepada cahaya UV, selepas pelarut dan terukir, corak litar akan dibiarkan pada substrat.
Apa itu Photoresist? Mengapakah panjang gelombang UV 500nm mesti dihalang?
Photoresist digabungkan dengan resin, pelarut dan bahan tambahan. Julat sensitif cahaya photoresist ialah 200nm-500nm. Oleh itu, banyak makmal semikonduktor akan menerima pakai cahaya kuning yang menghalang panjang gelombang UV 500nm untuk mengelakkan keadaan fotoresist yang terlalu terdedah atau terdedah lebih awal.
